机床工具领域的尖端技术
迎来纳米时代的磨削、研磨加工
随着IT关联产品、汽车、家电等工业制品的不断发展,鼎点平台刀具站高性能磨削、研磨加工的重要性日益增大。对于生产技术人员来说,高精度化、高效率化和自动化是永远的主题。磨削、研磨技术的研究开发成果推动着工业产品的更新,正脚踏实地向前发展。
(1)磨削、研磨技术的重要性日益增大
如今几乎已普及到所有家庭的个人电脑(PC)所配备的硬磁盘(HDD)过去是在超精密机床上用单晶金刚石刀具切削加工。近年来,磁盘面记录密度的年增长率达到100%,实现了每1平方英寸达1G的记录密度。这一技术是在经磨削加工后的铝合金基盘上镀上无电解NIP薄膜,再通过研磨加工使其表面平滑而得以实现的。而高性能加工技术的进步,鼎点平台厂家也使得基盘材料从铝合金更换为刚性比更高的硅酸铝玻璃、晶化玻璃等,因此,磨削、研磨加工的重要性也更大了。
(2)高精度化
直线电机刚开始开发时,因其能实现高速加工而备受瞩目。但近年来,使用直线电机的目的已逐渐转向高精度化。也就是说,在直线电机的诸多优良特性中,很高的定位精度和圆弧插补精度尤其令人刮目相看。其原因是非接触式的驱动系统没有传统伺服电机旋转减速用的齿轮副、滚珠丝杠、耦合件等各种机械因素引起的误差,以及直线电机必然采用闭路控制。
今后,高精度化加工技术的发展将日益加速。在精密加工中,最重要的加工之一是高精密平面的加工。尤其是在精密测量仪器、光学仪器、硅片等超精密加工领域,要求加工出无限平滑的表面。为此,机床制造商开发出了超精密平面磨床,在采用独立的可变静压滑板技术实现高刚性加工的同时,又实现了即使存在偏载荷,油膜厚度也不会发生变化(工作台不发生倾斜),磨削平面度达到lμm/m2。此外,加工表面通过抛光可以实现0.03μm/m2的平面度。为了实现高精度加工,就必须克服热变形。具体来说,需要尽可能减少来自驱动电机和轴承、导向面等的加工发热。此外,为了不使加工中的工件发生热变形,还需要控制在加工点产生的热量和来自工件表面的汽化热。为此,该超精密平面磨床配置了既恒温又恒湿的隔离罩,作为完整的系统加以商品化。
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